550-101A Inficon 日本 販売
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技術仕様
100/115 V (± 10%) 50/60 Hz-または同等のものo 検出:ヘリウム、水素、o ヘリウムの最小検出可能リークレート
[mbar·l/s]:-真空モード:5 E-12 未満-スニッフィングモード:5 E-8 未満、o
最大吸気圧力:15 mbar、o ポンプダウンモードでの排気速度:30 m³/h @
60 Hz、ULTRA モードでのヘリウム排気速度:2.5 l/s、TL7 テストリークなし
およびドライバックポンプ