AGB7361- DUO Pelco 日本 販売
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技術仕様
PELCO easiGlow™ デュアルチャンバーグローディスチャージシステム
同じポンピングシステムを共有する2つのeasiGlow™グローディスチャージユニットのシステム。システムには次のものが含まれます:
- オート、マニュアル、およびプログラムモードを備えた2つのeasyGlowグローディスチャージユニット
- すべてのパラメータの操作と表示のための3インチタッチスクリーンディスプレイ（空気付き）
- アルキルアミンを使用した親水性処理に最適化された第2ユニット
- プラズマ電流1-30 mA
- 2つの個別のプロセスガス/ベント入口、ユーザー選択可能
- 真空範囲: 1.1 - 0.45 mbar、精密比例バルブによる制御
- デルリン製トッププレートを備えたチャンバーサイズ: 120 x 100 mm
- 75 mm径のプロセスプラットフォーム（75 x 25 mm（3"x1"）スライド用のくぼみ付き）
- ピラニゲージ
- デュアルセーフティインターロック
- 81個のTEMグリッド用グリッドホルダー
- 25個のTEMグリッド用グリッドホルダー
ユニバーサル電源供給装置 110 - 240V、50/60 HZ、60W
全体サイズ（LxDxH）: 305 x 292 x 230 mm