HPG400 Inficon 日本 販売
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技術仕様
測定間隔（空気、N2）mbar
Torr 2×10⁻⁶ … 1000
1.5×10⁻⁶ … 750
精度
10 -5 … 1 mbar % 読み取りの ±15 (1)
繰り返し性
10⁻⁵ … 10⁻¹ mbar % 読み取りの 2
10 -1 … 100 mbar % 読み取りの 30
温度
動作（環境）°C 0 … +50
保管°C -20 … +70
フランジ焼付け°C 80
オーブンの電子部品が取り外されました°C 150
電源電圧V（DC）
A（DC）20 … 28
0.8
真空にさらされた材料 Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, ステンレス鋼, ガラス