iXH100 Edwards Vacuum 日本 販売
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技術仕様
200–240 VAC; 60 Hz; 3相; ピークポンプ速度: 59 CFM (100 m³/h⁻¹); 最終圧力: 1.5 × 10⁻² Torr; 真空インレット: ISO 63; 真空アウトレット: NW 40; 水冷: はい; 水流: 2 L/min; 窒素パージ: 28–44 SLm; ドライポンプ; サイズ (L × W × H): 784 mm × 390 mm × 526 mm